Nidec晶圆搬运传输机器人
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产品名称:
Nidec晶圆搬运传输机器人型号:
SR8230、SR8220、SR8240、SR8241价格:
10最小起订量:
10
产品摘要:
型号： SR8230、SR8220、SR8240、SR8241。
- 产品描述
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Nidec晶圆传输机器人参数：
模型 SR8230 SR8220 SR8240 SR8241 晶圆尺寸 200mm and 300mm 200mm and 300mm 200mm and 300mm 200mm and 300mm 宪法 圆柱坐标类型Single Arm 圆柱坐标类型Double Arm 3-link 水平铰接 3-link 水平铰接 自由运动轴 3 4 5 5 工作
范围Arm 伸缩范围 R axis (standard arm) -212 ～ +321 mm
Short arm (option)
-265 ～ +245 mm
Long arm (option)
-319 ～ +447 mmR axis (standard arm) -212 ～ +321 mm
Short arm (option)
-265 ～ +245 mm
Long arm (option)
-319 ～ +447 mmX axis -432 ～ +432 mm X axis -650 ～ +650 mm - R axis (standard arm) -212 ～ +321 mm
Short arm (option)
-265 ～ +245 mm
Long arm (option)
-319 ～ +447 mm- - Arm 转动范围 TH axis 340deg TH axis 340deg TH axis ±180deg TH axis ±170deg 垂直工作范围 Z axis (standard) 300 mm
(option) 400/450/500mmZ axis (standard) 300 mm
(option) 400/450/500mmZ axis 300 mm Z axis 300 mm Arm 回转 - - Roll axis ±240 deg Roll axis ±275 deg - - Roll axis ±240 deg Roll axis ±275 deg 最大运动
速度Arm 伸缩范围 R axis 5.76 rad / sec R1 axis 5.76 rad / sec X axis 1680mm / sec X axis 1709mm / sec - R2 axis 5.76 rad / sec - - Arm 转动范围 TH axis 6.98 rad / sec TH axis 6.98 rad / sec TH axis 8.72 rad / sec TH axis 6.54 rad / sec 垂直工作范围 Z axis 450 mm / sec Z axis 450 mm / sec Z axis 450 mm / sec Z axis 700 mm / sec Arm 回转 - - Roll first axis 9.42 rad / sec Roll first axis 9.42 rad / sec - - Roll second axis 9.42 rad / sec Roll second axis 9.42 rad / sec 重复定位精度 ±0.1 mm ±0.1 mm ±0.1 mm ±0.1 mm 清洁度 ISO Class 1 ISO Class 1 ISO Class 1 ISO Class 1
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- 其它产品