产品名称:
Aligner校准器/巡边器型号:
VA450
产品摘要:
Wafer时使用的System / Wafer Notch Check 与 Centering 功能 验出Wafer Chipping的功能 / Vacuum Chuck Type / 对应100-450mm Wafer 可利用T/P快速检查LPM的状况与设定
- 产品描述
■ Wafer Plain 100-450mm
■ Sensing CMOS or Laser (Option)
■ Centering repeatability ≤ ±0.1mm
■ Angle repeatability ≤ ±0.1°
- 其它产品