产品名称:
晶圆/基板玻璃真空机器人型号:
PLP真空机器人、机械手
产品摘要:
在超洁净、高真空加工环境中进行可靠的运输 先进的运动协调技术可实现平稳高效的材料转移 重型载荷（6kg），FPD运输就绪 径向卡盒/工艺腔室访问能力
- 产品描述
配置 底物尺寸 晶圆尺寸最大可达 300 毫米 ARM配置 2 连杆 7.5"-7.5" 末端执行器 重力 物理性质 尺寸（主体直径） 11.5英寸 身高 20.46英寸轴 4：T、R、R2、Z。活动范围 T：360°
R 和 R2：-7.25"-7.25"：[-13.775", 13.775"]
Z：1.5"表现 有效载荷 6kg 基本工作压力 10E-10 托 泄漏率 <1*10E-9 标准立方厘米/秒重复性 T：±0.01°
；R：±0.001"；
R2：±0.001"
；Z：±0.001"径向（R） 0.001” 旋转（T） 0.01° 垂直（Z） 0.001” 可靠性（MTBF） 超过 80,000 小时 环境 清洁 < 1级洁净室兼容晶圆接触材料 铝、不锈钢、氟橡胶、真空润滑脂标准合规性 适用指令/标准 机械指令 89/392/EEC
低电压指令 73/23/EEC
89/336/EEC (EMC)
SEMI S2-93A验证合规性的标准 EN 60204-1:1997
EN ISO 12100-2:2003
RIA R15.06:1999根据 SEMI E10 的可靠性 >14M MCBF
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